Tergeo-Pro等离子系统未来将腔室直径增加到9英寸（230毫米）。腔室的深度增加到13.4英寸（430毫米）。Tergeo-Pro等离子系统足够大，可以容纳8英寸晶圆。它也足够大，可容纳一两个25/50槽6"或4"石英晶舟。Tergeo-Pro等离子系统可以具有150瓦、300瓦或500瓦的射频功率。射频功率可以以1瓦的间隔进行调整。射频电源的频率为13.56MHz，提供比KHz射频等离子系统更高的等离子生成效率。Tergeo等离子系统不仅可以调整射频功率，还可以产生连续或脉冲等离子。脉冲比可以从100%调整到小于1%。夸脱室壁结构可实现外部电容耦合射频电极设计。
Tergeo-Pro等离子清洗机的应用类似于较小的Tergeo等离子系统，不同之处在于它可以接受更大的样品。以下是典型应用列表：
光刻胶灰化、除渣和硅片清洗
在引线键合、倒装芯片底部填充、PCB去污之前清洁芯片
生物医用涂层前表面处理，提高医用植入物的亲水性
环氧树脂粘合前的光学元件、玻璃、光纤头和基板清洁
PDMS、微流体、载玻片和芯片实验室
改善金属与金属或复合材料的粘合
改善塑料、聚合物和复合材料的粘合
特征：
大型样品室（内径：9英寸/230毫米，深度：13.4英寸/340毫米）。足以容纳一个8英寸晶圆，一个或两个25/50槽6"/4"石英晶圆舟。
等离子放电法：电容耦合等离子放电与外部弯曲放电电极。
连续和脉冲等离子体。脉冲比可以从100%（连续）更改为小于1%。Tergeo等离子系统不仅以1瓦的间隔调整射频功率瓦数，而且还产生连续和脉冲等离子。改变等离子体强度超过几个数量级。
操作方式：自动配方执行；自动作业序列执行；手动操作。
等离子传感器：等离子强度传感器实时监测等离子状态，并为用户提供不同配方条件下等离子强度的定量反馈。等离子传感器还可以监测等离子灰化过程的进程并用作终点指示器。等离子强度实时显示在液晶触摸屏显示器上。
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