产品描述
PK3L60-080U多轴纳米扫描台是基于压电控制的80um行程的位移台，可在XYZ轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位，例如反射镜，光纤，激光二极管，微光学器件，传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线，干涉仪的路径长度变化，激光光刻，扫描显微镜和膜片钳等。扫描具有高度可靠的多层低压压电（PZT）堆栈，可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨，位移台无需维护，不易磨损，并具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描。分辨率仅受控制电路的噪声限制，但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变，其可重复性和稳定性受到影响。可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞和蠕变的影响，并且PK3L60-080U定位系统可以配备电容测量系统，PK3L60-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。PK3L60-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。
产品特性
—XYZ位移：80μm（闭环）
—中孔尺寸：Ø25mm
—z大承载能力：0.6Kg
—紧凑型设计
—高精度柔性导向
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制中心孔径大小
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵

结构原理                                              堆叠形式                                               典型应用

PK3L60-080U系列技术参数