产品描述
PKVL80-080U/160U/240U为定制型产品，专为有空间限制应用而设计的，超紧凑尺寸、超低外形结构，便于安装集成在设备中。多种规格产品行程便于用户在不同应用场合进行选择对应产品。
压电扫描台移动面可放置载玻片/样品，与倒置/正立显微镜配合使用，进行Z轴样本扫描定位操作，可提高图像分辨率。因移动面设计为大中空型，便于物镜转换器的可调换空间，及可方便各种转接工装的集成。
压电扫描台可轻松与其他机械定位系统结合使用，非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。
PKVL80-080U/160U/240U压电陶瓷扫描台可选择位置反馈闭环控制的版本，闭环版本品无迟滞和蠕变特性具有更高的位置线性精度和重复定位精度。
产品特性
—Z位移：80μm/160μm/240μm（闭环）
—中孔尺寸：45x45mm
—z大承载能力：800g
—紧凑型平行运动机械结构设计
—高精度柔性铰链导向
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择XYZ轴版本（80μm）
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵

结构原理                                             堆叠形式                                               典型应用

PKVL80-080U/ 160U/240U系列技术参数

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