搭载高精度光栅尺实现同等级设备的高精度轮廓形状仪的标准机型NEX 030是测量轮廓形状通用精度型号测量部
型号 SURFCOM NEX 12 13 14 15 22 23 24 25 驱动部 Ｘ轴 (L：测量长度mm) 感应方式 线性光栅尺 直线度精度 轮廓用通用传感器时 (μm/mm) 1.0/100 2.0/200 Ｘ轴指示精度 (μm) ：横向 ± (1.0 + 1.0L/100) ※100 mm驱动部 轮廓测量时 分辨率 (μm) 0.016 速度 (mm/s) 移动时 0.03 ～ 60 测量时 0.03 ～ 20 倾斜角度 (° ) 轮廓用通用传感器时 ± 15 (倾斜装置选配件） 测量台 立柱 速度 (mm/s) 移动时 Max. 10 底座 材质 辉长岩
东京精密轮廓仪传感器
轮廓测量用 通用传感器 (E-DT-CH18B) 测量范围 Ｚ轴 (mm) ：纵向 60.0 轮廓测量 (H：测量高度mm） 感应方式 高精度光栅尺 测量范围 (mm) 60.0 测量分辨率 (μm) 0.04 (全量程) 指示精度 (μm) ：纵向 ±（1.5 + |2H|/100） 功能 上下测量/碰撞感应安全机构/缩回功能 测针 轮廓用 型号 DM45505 交换方式 交换式 测量力 (mN) 10 ～ 30（手动調整） 测针材质 超硬合金 测针形状 25 μmR/24° 圆锥
东京精密轮廓仪
http://www.fyjl17.com/SonList-2188020.html
https://www.chem17.com/st400249/erlist_2188020.html