品牌: |
未填 |
所在地: |
河南 洛阳市 |
起订: |
未填 |
供货总量: |
未填 |
有效期至: |
长期有效 |
详情介绍
针筒式旋转涂布机应用程序:
人工放置基板->启动真空吸附->基板吸附于转盘上 ->自动滴胶->旋转开启->低转速->中 转速->高转速->旋转停止->去边->破真空->人工取件。
针筒式旋转涂布机产品特点:
针筒式滴胶方式更适合科研和小批量生产,不用清洗管道;
整机用料扎实、750W进口伺服电机、适合更大更重样品;
吸盘平整度精细加工平磨,均匀性好,可达1%以内;
电气独立集成机身侧面,避免因腔体漏液到设备内部导致短路风险;
配置光胶过滤器,清洗保养方便,避免堵胶带来飞片风险;
真空负压数值显示和低真空报警,避免因负压不足带来飞片风险。
安全措施:
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功能 |
规格 |
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真空检知 |
面版上有数位显示计,低压报警 |
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盖子检测 |
运行中开盖报警 |
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防吸入光阻装置 |
加装于真空PUMP之前,预防光阻液吸入需定期清洁保养 |
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电控箱 |
位置放在侧面,防止漏液带来短路风险 |
产品参数:
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桌上型半自动旋转涂布机 |
供电电压 |
AC220V,50Hz |
操作方式 |
7寸触控屏 |
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转速 |
20~10000rpm |
滴胶方式 |
手动滴胶/自动 |
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加速度 |
350~10000rpm/s |
编程 |
可编程50组20步 |
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减速度 |
350~10000rpm/s |
均匀性 |
1% |
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转速分辨率 |
1rpm |
抽气接口 |
Φ6mm快拧接口 |
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单步时间 |
3000s |
整机尺寸 |
650mm×500mm×550mm |
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基片尺寸 |
直径≤8英寸(200mm) |
整机重量 |
55kg |
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腔体材质 |
PTFE |
光刻胶容器 |
胶泵、压力罐、美式针筒 |
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滴胶管路 |
≤3路(背洗、去边可选) |
核心配件品牌 |
SMC、CKD、松下、西门子、小金井等 |
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排气系统 |
真空泵 |
干式机械泵 |
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抽气速率 |
50L/min |
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供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
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可提供12寸晶圆(均匀性<2%)、方片、胶泵滴胶、压力罐滴胶等多种滴胶方式,以满足不同产量要求,更多需求可咨询。
可选抽风或者防反溅腔体等服务。
如有特殊要求可咨询,如滴胶量精度、脱泡、流量监控、杂质过滤等。我司将已专业的角度给你分析更加适合你的产品选型。
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