小型滑轨式PECVD系统本设备主要针对实验中试石墨烯生长和制备使用，同时该设备可以用于碳纳米管的生长。可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。

 

 滑轨式PECVD加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。              

1、加热系统

z高温度

1200℃

使用温度

≤1100℃

炉膛有效尺寸

Φ100mm（适用于2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。）

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序。

加热长度

230mm

恒温长度

100mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相，220V，50Hz



2、PE射频电源

功率输出范围

0W~500W

z大反射功率

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

≤5W

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷



3、三路质子流量控制系统

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程（N2)

50sccm，100sccm、500sccm（可根据用户要求定制）

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1～0.5 MPa

z大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6
https://www.chem17.com/st235110/product_36409892.html
http://www.ahbeiyike.com/ParentList-684448.html