Helios DualBeam™扫描电子显微镜介绍

一直以来，Helios NanoLab 都综合采用了 FEI 的电子和离子光学系统、配件和软件，能够为纳米量级研究提供强大的解决方案。对于从事纳米技术前沿研究的科学家，Helios NanoLab 能让他们拓展研究边界，为材料研究开辟新的天地。

借助价值的亚纳米 SEM 成像技术、S/TEM 超薄样本制备能力以及精确的原型设计功能，科学家能够将 Helios NanoLab 当作理想的研究伴侣，为未来的科技进步开发创新的新材料和纳米量级器件。

Helios NanoLab 的材料科学应用

在材料科学领域，研究人员面临的挑战是持续改善目前制造的材料和设备的质量。为了实现技术进步，在纳米量级了解结构和成分细节至关重要。Helios NanoLab 设计用来以低至亚纳米量级的分辨率提供多尺度、多维度洞察，让研究人员能够观测样本z微小的细节。Helios NanoLab 还可为原子分辨率 S/TEM 成像迅速制备z高质量的样本。此外，如果研究工作包括开发 MEMS 或 NEMS 器件，也可配备 Helios NanoLab 打造全功能原型。

Helios NanoLab 的电子工业应用

Helios NanoLab 是一款极其灵活的平台，既能以很高的效率制备 TEM 样本，又能开展高性能低电压成像以分析高级逻辑和存储器件。Helios Nanolab 具有大型和小型样本室两个配置，效率高，并且是面向实验室和近生产环境的低每样本成本半导体分析工作流的关键组成部分。

Helios NanoLab 的自然资源应用

地质学家和矿藏工程师可以使用 Helios NanoLab 技术对钻屑和微芯开展二维和三维岩石表征。它利用的 DualBeam 技术特色，博采 FIB(聚焦离子束)铣削和 SEM(扫描电子显微镜)分析之长。借助自动化序列样本铣削和成像功能，客户可以创建二维序列图像，进而开展三维容积重建。根据这些数据，客户可以在微米至纳米量级别观测和量化孔隙网络等纹理。

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