Alpha-Step高精度台阶仪/轮廓仪D-600 包括一个 200 毫米电动载物台，具有 150 x 178 毫米 X-Y 运动范围。 新的测序软件具有手动纠偏对齐和对样本多达 1000 个位置的编程功能。 该系统具有先进的光学元件、具有 4 倍数码变焦的高分辨率 500万像素相机和增强的视频控制功能，可实现高度通用的样品可视化。

一、功能

设备特点

电动载物台　　台阶高度：几纳米至1200μm

低触力：0.03至15mg　　视频：500万像素高分辨率彩色摄像头

梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真

圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪

软件：用户友好的软件界面

主要应用

台阶高度：2D台阶高度和3D台阶高度　　纹理：2D粗糙度和波纹度

形式：2D翘曲和形状　　应力：2D薄膜应力

应用领域

大学，研究实验室和研究所　　半导体和复合半导体

SIMS：二次离子质谱　　LED：发光二极管

高精度轮廓仪产品来源：

http://www.natengyiqi.com/Products-36784750.html

https://www.chem17.com/st125795/product_36784750.html