一、自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪的功能

通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及光学变焦相机等功能，程序设置简便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可支持2D或3D测量。 图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

设备特点

台阶高度：几纳米至1000μm　　微力恒力控制：0.03至50mg

样品全直径扫描，无需图像拼接　　视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

软件：简单易用的软件界面　　生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

主要应用

台阶高度：2D和3D台阶高度　　纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

形状：2D和3D翘曲和形状　　应力：2D和3D薄膜应力

缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

半导体和化合物半导体　　LED：发光二极管

太阳能　　MEMS：微机电系统

数据存储　　汽车

圆探针式台阶仪产品来源：

https://www.chem17.com/st125795/erlist_2338024.html

http://www.natengyiqi.com/Products-36785881.html