晶圆探针式轮廓仪/台阶仪设备特点：

台阶高度：几纳米至1000um　　微力恒力控制：0.03mg至50mg

样品全直径扫描，无需图像拼接

视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

圆弧矫正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

生产能力：通过测序，模式识别和SECS/GEM实现全自动化

主要应用：　　薄膜/厚膜台阶

刻蚀深度测量　　光阻/光刻胶台阶

柔性薄膜　　表面粗糙度/波纹度表征

表面曲率和轮廓分析　　薄膜的2DStress量测

表面结构分析　　表面3D轮廓成像

缺陷表征和分析　　其他多种表面分析功能

三、应用案例

台阶高度　　P-7可以提供纳米级到1000μm的2D和3D台阶高度的测量。 这使其能够量化在蚀刻，溅射，SIMS，沉积，旋涂，CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。P-7具有恒力控制功能，无论台阶高度如何都可以动态调整并施加相同的微力。这保证了良好的测量稳定性并且能够测量诸如光刻胶的软性材料。

晶圆探针式轮廓仪产品来源：

http://www.natengyiqi.com/Products-36785623.html

https://www.chem17.com/st125795/product_36785623.html