Laurell 650匀胶机
一、Laurell 650匀胶机产品特点:
美国Laurell WS-650Mz-23NPPB 匀胶旋涂仪 采用NPP外壳材质，PLC控制，速度可调节，在启动之后一般工艺先以低速运转使胶摊开，然后自动变到高速运转，步骤转速及相应的时间分别可调；

二、Laurell 650匀胶机 WS-650Mz-23NPPB 技术参数：
1、腔体尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直径圆片，方片125x125mm；
3、转动速度：100-12,000rpm，
4、旋涂加速度：1-12000rpm/sec（空载）；
5、马达旋涂转速：稳定性能误差<± 1 %；
6、转速调节精度：1rpm，重复性1rpm；
7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；
8、匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；
9、设备控制器：PLC控制，按键式操作。
10、程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；
11、高认证：美国国家标准技术研究院（NIST）认证;
12、配套真空泵系统：无 油 型 220~240伏交流，50/60赫兹；
13、售后服务：提供上门现场 或 远程在线 安装培训，用户可灵活选择；
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http://www.whyueyi.com/Products-36731290.html